微区分析是一种通过微束或探针技术对光学显微镜下的微小区域进行化学成分分析的方法。这种方法不仅可以进行形貌观察，还可以进行结构测定。其空间分辨率通常在微米级别，检测极限可达（1~500）×10^-6水平。早期使用的微区分析技术包括激光光谱、电子探针和各类电镜，而近年来发展的新技术则有激光烧蚀等离子质谱、二次离子探针质谱、扫描核探针和同步辐射X射线探针等。微区分析的工作模式可分为定点分析和扫描分析两类。

微区分析主要采用微束或探针技术，这些技术能够提供高空间分辨率和低检测极限，使得研究人员能够在微观尺度上精确地了解样品的化学组成。常见的微区分析技术包括激光光谱、电子探针、激光烧蚀等离子质谱、二次离子探针质谱、扫描核探针和同步辐射X射线探针等。

随着微束技术和地质学微观研究的发展，微区分析在矿物岩石的研究中得到了广泛应用。这种分析方法不仅能够帮助科学家们理解地球内部的物理和化学过程，还能够揭示不同地质事件之间的联系。