乙硅烷
用于制作氧化膜的无机化合物
乙硅是一种无机化合物,其化学式为Si2H6,在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质,但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定,在室温缓慢分解成硅烷和氢。在300~500℃分解成为SiH4、SinHm、H2,在光照下也分解。主要用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。
正文
乙硅烷:Si2H6,无色无臭气体,密度2.87克/升,熔点132.5℃,沸点14.5℃,微水解
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