乙硅烷
用于制作氧化膜的无机化合物
乙硅是一种
无机化合物
,其
化学式
为Si2H6,在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的
有毒气体
。它具有与
硅烷
类似的
化学性质
,但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定,在室温缓慢分解成硅烷和氢。在300~500℃分解成为SiH4、SinHm、H2,在光照下也分解。主要用于
太阳能电池
、感光转筒、非晶硅膜、
外延
成长、氧化膜、氮化膜、
化学气相沉积
等方面。
正文
乙硅烷:Si2H6,无色无臭气体,密度2.87克/升,
熔点
132.5℃,
沸点
14.5℃,微
水解
。
参考资料
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362
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