激光电镀是一种新型的高能束流电镀技术,对于微电子器件和大规模
集成电路的生产及修复具有重要意义。
尽管激光电镀的原理、激光消融、等离子激光沉积以及激光喷射等领域仍在研究中,但这项技术已经得到了实际应用。通过使用连续激光或脉冲激光照射电镀池中的阴极表面,可以显著提高金属的沉积
速率,并且可以通过计算机控制激光束的移动路径来获得复杂的几何形状的无遮蔽镀层。20世纪80年代,研究人员开发了一种新的激光喷射强化电镀技术,将激光强化电镀技术和电镀液喷射相结合,使得激光和镀液同时射向阴极表面,实现了更高的沉积速率。