何炜(1933年8月-),男,广东
番禺区人。1955年
清华大学电子工程系毕业并留校任教职,现为
清华大学电子工程系教授。兼任
中国真空学会副理事长,北京真空学会理事长,中国真空学会“真空科学与技术”学报主编,
香港浸会大学表面分析研究中心管理委员会委员,顾问,中国科学院凝聚态物理中心北京真空物理(开放)实验室学术委员等等。
长期从事真空物理与技术,应用表面科学和物理
电子学方面的教学和科学研究工作。曾讲授真空技术及其物理基础,气固界面物理,统计物理,气体放电,固体表面电子学,表面分析技术及电真空工艺等大学本科或研究生课程及内容。
五十年代中期建立或完成真空物理与技术,电真空工艺等实验室。曾从事光电器件研制,
放射性同位素应用,超高真空物理与技术的研究与开发,
化学吸附,半导体表面与界面态,电子能谱分析技术等方面的研究。
近年研究俄歇电子谱用于分析固体表面和界面化学态,价电荷转移和价带电子态密度分布以及溥膜及表面
电子学。
1977年获
辽宁省重大
科技成果奖。1985年获第一届国家教委科技进步1等奖。1981年于
美国发表的“溅射离子泵计算”被国际上承认为该领域的代表性理论计算文章之一。