在吸气的过程中，首先发生的是蒸散吸气。在这个阶段，当物质受到加热并蒸发时，产生的粒子会与周围的气体分子发生碰撞。这些碰撞可能会导致粒子仅改变其运动方向，或者与气体分子发生化学反应，形成新的化合物并沉淀在管道内壁上。这种相互作用的结果是，管道内的气体浓度减少，剩余的气体大部分被吸收。
接着是表面吸附。在此过程中，当气体分子撞击固体表面时，它们有可能被反弹回来，也有可能被吸附在表面上。被吸附的分子可能牢固地附着在表面上，也可能只是被轻微的力量束缚住。
最后是内部扩散。在这种情况下，已经被吸附在表面的气体分子具有较高的表面迁移
速率，可以快速地在整个表面上扩散。随着表面扩散的进行，如果条件允许，这些气体分子还可能继续深入到吸气金属的内部，进行体扩散。
吸气过程涉及多个影响因素，包括蒸散吸气、表面
吸附和内部扩散。这三个因素之间存在着密切的关系。首先是由蒸散吸气引起的气体浓度变化，这为随后的表面吸附提供了基础。表面吸附则是内部扩散的前提条件，因为只有当气体分子先被吸附在表面上，才能进一步向金属内部扩散。