高纯硅烷
化合物
高纯硅在常温常压下为恶臭的无色气体,在空气或肉素气体中发生爆炸性燃烧。
正文
特性
与金属卤化物激烈反应,也与L`C'1,反应,对
硅烷
不能用
氟利昂
灭火剂。
熔点
一1舒。℃几
沸点
一111.5℃二一般采用低温
吸附
连续掖化精馏提纯I艺,了「广仁产中对气体成分进行连续监控,制得产品。用于半导体牛产巾的生长高纯单晶硅、多品硅外延片以及
二氧化硅
、氮化硅、磷硅玻璃、非品硅等
化学
气相淀积工艺。并广泛用十非品硅人阳能电池、硅复印机鼓、光电传感器、光导纤维、特种玻璃等的生产研制。
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362
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