高纯硅烷
化合物
高纯硅在常温常压下为恶臭的无色气体,在空气或肉素气体中发生爆炸性燃烧。
正文
特性
与金属卤化物激烈反应,也与L`C'1,反应,对硅烷不能用氟利昂灭火剂。熔点一1舒。℃几沸点一111.5℃二一般采用低温吸附连续掖化精馏提纯I艺,了「广仁产中对气体成分进行连续监控,制得产品。用于半导体牛产巾的生长高纯单晶硅、多品硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃、非品硅等化学气相淀积工艺。并广泛用十非品硅人阳能电池、硅复印机鼓、光电传感器、光导纤维、特种玻璃等的生产研制。
参考资料

Warning: Invalid argument supplied for foreach() in /www/wwwroot/newbaike1.com/id.php on line 362
目录
概述
正文
参考资料