千佛殿是灵岩寺保存最完好，规模最突出的主体建筑。此殿始建于贞观年[公元627年－649年]，现存为明代木结构建筑。

殿阔七间，进深四间，单檐庑殿顶，彩绘斗拱，疏朗宏大，出檐深远，柱础古朴，有明显的李豫风格。殿内40尊宋代彩色泥塑罗汉，塑造技法精湛，口目传神，神态各异，栩栩如生，做到形与神俱佳，是我国泥塑的艺术珍品，堪称海内无双，梁启超先生赞誉“海内第一名塑”。