电子探针分析仪是一种精密的科学仪器，主要用于对地质、冶金、有色、玻璃、陶瓷、新材料、纳米材料等机材料的分析。它能够进行1微米内的各元素定量分析，提供20~20万倍的扫描图像观察，以及X射线能谱快速定量分析和阴极射线致发光分析。

电子探针分析仪属于光学仪器类别的电子光学及离子光学仪器，具体分类为扫描式电子显微镜。其主要技术指标包括电子束束斑小于7nm，扫描图像分辨率优于7nm，元素分析范围覆盖硼(B)至铀(U)，并支持全定量分析(点、线、面)以及阴极发光数字化图像。

电子探针分析仪通常配备有多台附件设备，包括扫描图像波谱仪、能谱仪、阴极发光系统等。这些附件设备的使用，使得电子探针分析仪的功能得到了显著提升，使其能够在更微观的尺度上进行分析和研究。

电子探针分析仪的应用广泛，涵盖了多个领域。它可以用于分析各种材料的成分、结构，包括金属材料、电子材料、表面材料、超硬材料、硅酸盐材料、化工材料、光学材料、生物材料等。此外，它还可以进行特种金属及其制品的分析鉴定与纯度分析，超细材料、纳米材料、磁粉的粒度测定，镀层材料的成分与厚度测定，宝玉石的质量评估，贵金属制品的分析与鉴别，非金属矿产品的质量评估，以及生物、医学、农业中的无机化合物材料和有机材料中的无机盐分析等。