三氧化，化学式Xe臭氧。为氙的一种氧化物。为无色透明晶体,属正交晶系,分子构型为三角锥形。易爆炸，在潮湿空气中爆炸力很强。其水溶液呈酸性，并且是非常强的氧化剂。

化学式XeO3。为氙的一种氧化物。XeO3为无色透明晶体，属斜方晶系，分子构型为三角锥形。密度4.55克／厘米3；在 40℃时分解。XeO3 吸湿能力很强，易爆炸，在潮湿空气中爆炸力很强。其水溶液呈酸性，并且是非常强的氧化剂。

XeO3可由化氙水解得到：

6XeF4+12H2O─→2XeO3+4Xe+3O2+24HF

XeF6+3H2O─→XeO3+6HF