浙江晶盛机电股份有限公司(英文名:Zhejiang Jingsheng Mechanical \u0026 Electrical Co., Ltd.,简称:晶盛机电),是一家以半导体材料装备、化合物半导体衬底材料制造为主业的高新技术企业。公司成立于2006年12月14日,注册地址为
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号,股票代码为00316.SZ。董事长、法定代表人为曹建伟。
2007月4月,晶盛机电研发出中国首台“全自动单晶硅生长炉”,打破了单晶硅生长炉设备长期被国外企业垄断的产业格局;次年3月,研制出当时中国规格最大的“全自动直拉式
单晶硅生长炉”,结束了中国多年以来向他国进口12英寸大规格单晶硅生长炉设备的历史。2009年至2011年间,晶盛机电陆续研制出应用水冷夹套技术的“TDR95A-ZJS型单晶硅生长炉”、“多晶硅铸锭炉”、“全自动单晶硅生长炉”等设备。2012年,晶盛机电在深圳证券交易所创业板上市。2014年3月,晶盛机电推出“全自动半熔高效多晶铸锭炉”和“基于CFZ技术的高效单晶生长设备”。2018年,晶盛机电成功研发出首台“碳化硅单晶炉”,并进入材料的研发和生产阶段;同年8月,推出了第一颗“8英寸N型碳化硅
晶体”,突破了第三代半导体代表材料“卡脖子”技术。2021年12月,晶盛机电与银川经开区签约年产40万片碳化硅
半导体材料项目。2023年6月,晶盛机电旗下“8-12英寸大硅片设备”基本实现国产化并批量交付;同年11月,晶盛机电开始布局碳化硅赛道。经多年发展,晶盛机电业务涉及半导体、
太阳能光伏设备领域以及半导体材料细分领域的
蓝宝石材料和碳化硅材料等。旗下拥有国家级博士后科研工作站、国家企业技术中心、
浙江省半导体设备企业研究院等研究平台。公司内部建立了4个研发中心,其中包括1个海外研发中心,10个专业研究所和2个专业实验室。
2022年,晶盛机电营业总收入为106.38亿人民币,同比增长78.45%;净利润为30.78亿人民币,同比增长78.09%。2021年9月,晶盛机电入选"2020年度
绍兴市企业研发投入十强"名单。2022年5月,被《
互联网周刊》评为2022光伏企业发展力TOP30。2023年1月13日,位列《2022胡润中国500强》第117位。2023年3月30日,位列《2022中国新经济企业500强榜单》第80名。2023年12月,入选浙江省第一批雄鹰企业。
2006年12月14日,浙江晶盛机电股份有限公司(简称:晶盛机电)正式创立。次年4月,晶盛机电研发出中国首台全自动单晶硅生长炉,并销售给中国半导体材料供应商有研半导体材料股份有限公司,打破了单晶硅生长炉设备长期被国外大型企业垄断的产业格局。2008年3月,晶盛机电研制出当时中国规格最大的全自动直拉式单晶硅生长炉,结束了中国多年以来向他国进口12英寸大规格单晶硅生长炉设备的历史。
2009年,晶盛机电研制出应用水冷夹套技术的 TDR95A-ZJS 型单晶硅生长炉,并凭借该产品,成为
英利能源(中国)有限公司2010年度唯一的中国本土单晶硅生长设备供应商。2010年1月,晶盛机电成功研制出配置双电源独立控制系统的
多晶硅铸锭炉(JSH480 型),该产品在全球范围内首次采用了顶部加热与四周加热的双电源独立控制技术。次年,晶盛机电陆续研制出JSH600 型多晶硅铸锭炉、前开门式连续加料的全自动单晶硅生长炉、JSH800 型气致冷多晶硅铸锭炉等设备。
2012年,晶盛机电在深圳证券交易所创业板上市,股票代码为00316.SZ,2014年3月,晶盛机电在上海召开了新产品发布会,推出了推出了型号为JSH800-HF的“全自动半熔高效多晶铸锭炉”和“基于CFZ技术的高效单晶生长设备”。其中JSH800-HF实现了中国首次高效多晶硅铸锭工艺的全自动控制。2017年,晶盛机电开始
碳化硅晶体生长设备和工艺研发,随后于2018年成功研发出首台碳化硅单晶炉,并进入材料的研发和生产阶段。8月,晶盛机电推出了第一颗8英寸N型碳化硅晶体,突破了第三代半导体代表材料“卡脖子”技术。自此,晶盛机电的第三代半导体材料碳化硅研发迈入8英寸时代。2020年9月,晶盛机电获2019年
浙江省人民政府质量管理创新奖。次年,入选2021福布斯中国最具创新力企业50强。2021年12月,晶盛机电与银川经开区达成合作,签约了年产40万片碳化硅半导体材料项目。
2022年,在《
互联网周刊》杂志发布“2022光伏企业发展力TOP30”,晶盛机电排名第19位。2023年2月,晶盛机电推出6英寸双片式外延设备。同年6月,浙江晶盛机电股份有限公司和西部超导材料科技股份有限公司达成战略合作,双方将加强和巩固各自领域的技术优势和竞争力,加快超导
磁场产能供给。此外,晶盛机电旗下8-12英寸大硅片设备基本实现国产化并批量交付,并开始布局12英寸减薄及外延(常压外延、减压外延)等设备。11月,晶盛机电“年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目”正式启动,开始布局碳化硅赛道。12月,晶盛机电与
埃斯顿达成战略合作,开始推进海外业务的发展。在2023日本东京半导体展上,晶盛机电展示8英寸碳化硅衬底片和8英寸外延生长设备,引发行业关注。
2024年1月,晶盛机电入选浙江省第一批雄鹰企业。经多年发展,晶盛机电拥有国家级博士后科研工作站、国家企业技术中心、浙江省半导体设备企业研究院、浙江省半导体装备精密零部件高新技术企业研究开发中心、浙江省外国专家工作站、工业4.0方向的浙江省省级重点研究院、浙江省晶盛机电
晶体生长装备研究院、浙江省半导体智能制造重点企业研究院、
浙江省半导体材料生长加工装备重点企业研究院等研究平台。内部建立了4个研发中心,其中1个海外研发中心,还有10个专业研究所和2个专业实验室。
晶盛机电主营业务产品为应用于光伏和半导体集成电路产业上游晶体生长及加工设备,并延伸布局至蓝宝石材料、碳化硅材料以及相关产业链核心的辅材耗材,业务涉及半导体、光伏设备领域以及半导体材料细分领域的蓝宝石材料和碳化硅材料等。