常用的氯硅单体包括甲基三氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷、苯基三氯硅烷等。氯硅烷类化合物（Chlorosilanes 化合物）的物理化学特性为该类化合物大多系挥发性物质。沸点低，比重大。 当空气中达到一定浓度时则引起爆炸，受水分作用后释出氯化氢。

氯硅烷类化合物大多具有强烈的刺激性，其毒作用除单体本身外，还与其水解产物氯化氢有关。急性吸入毒性属低毒类，毒作用带较窄。

制备氯硅烷类化合物时，以氯甲烷和硅为原料，在铜催化剂存在条件，可形成多种甲基氯硅烷，若用氧乙烷，氯苯与硅反应，可相应得到乙基氯硅烷、醋基氯硅烷。反应器可用搅拌流化床或锥形流化床，一般单程度转化率为30%。

氯硅烷;chlorosilane

硅烷SiH4中的氢原子被氯原子取代后，总称为氯硅烷，含氯量低时为气体，较高时为液体，无色或黄色，

通式为HnSiCl4-n;n=0,1,2,3；

可由硅粉与氯化氢于290～400℃反应来制取，也可由硅粉与氢和氯化氢的混合物，

在氯化亚铜存在下，于250℃左右反应来制取。

用作硅外延片生产过程中的硅源及制备有机氯硅烷的原料。

此外，氯化硅(SiCl4)和三氯硅烷(HSiCl3)是提取高纯度硅的的中间产物。分馏后，可以获得99.999999999%（十一个9)纯度的硅。

吸入、食入对眼和呼吸道粘膜有强烈刺激作用。高浓度下，会引起角膜混浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿，并可伴有头昏、头痛、乏力、恶心、呕吐、心悸病等症状。溅在皮肤上，可引起坏死、溃疡，长期不愈。

皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用流动清水冲洗15分钟以上。若有灼伤，就医治疗。眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水冲洗15分钟或用2%碳酸氢钠溶液冲洗。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。注意保暖，保持呼吸道通畅。必要时进行人工呼吸。就医。食入：患者清醒时立即漱口，给饮牛奶或蛋清，立即就医。

疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿化学防护服。不要直接接触泄漏物，勿使泄漏物与可燃物质(木材、纸、油等)接触，在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。将地面洒上碳酸钠灰，然后用大量水冲洗，经稀释的洗水放入废水系统。如果大量泄漏，最好不用水处理，在技术人员指导下清除。