张玉林,男,
汉族,教授、博士生导师。研究方向为计算机控制技术、微米、纳米加工及控制技术、微机电系加工控制技术、
生物芯片加工技术。理论成果获省级等奖。
人物经历
1965.9-1970.7山东大学数学系学生。
1970.7-1971.11四八零七部队学生连煅练。
1971.11-2000.7
山东工业大学自动化系教师。
全国三束学会学术委员。
研究方向
计算机控制技术,微米、纳米加工及控制技术,微机电系统加工控制技术,生物芯片加工新技术。
主讲课程
主讲研究生课程。
硕士研究生专业选修课:计算机接口技术。
硕士研究生专业选修课:微机电系统。
主要贡献
研究项目
1、电子束曝光工艺研究国防科工委,第1位。
2、抽油机井综合测试
计算机企业委托,91年完成,第1位。
3、
集成电路插座自动生产线企业委托,93年完成,第1位。
4、智能高频新电检测仪,94年完成,第2位。
5、汉字示屏研制企业委托,95年完成,第1位。
6、一种智能电度表,96年完成,第1位。
7、
电阻率分析系统及熔铝质量快速检测
山东省科技计划,98年完成,第1位。
8、电子束曝光机图形控制器研制中科院电工所,99年完成,第1位。
9、柴油及状态检测仪研制校产业,2001年完成,第1位。
10、鲁宁输油管线先进控制方案设计企业委托,2002年完成,第1位。
1、2004.1-2006.12,电子束光刻生成三维结构的研究,国家自然科学基金,经费28万,第1负责人。
2、2003.1-2005.12,《电子束曝光机灰度掩模的研究》,
山东省科技攻关,经费5万,第1负责人。
3、2004.1-2006.12,基于电子束光刻生成三维结构的研究,山东省自然科学基金,经费4万,第1负责人。
4、2003.6-2005.6,热电厂脱硫控制系统,企业委托,经费110万,第1负责人。
5、2003.6-2004.6,纳米电子束曝光机图形控制器的研制,中科院电工所,经费12万,第1负责人。
6、2002.1-2004.12,压电超声电机的研究,
山东省自然科学基金,经费3万,第3。
7、2004.1-2006.12,电子束光刻三维加工方法研究,省教委计划,经费3万,第2。
8、2004.6-2005.12,智能脉诊仪研制企业委托,经费30万,第2。
主要论著
在《
电子学报》、《微细加工技术》、《
微纳电子技术》、《
仪器仪表学报》、《传感器技术》等刊物及国际、全国性学术会议上发表学术论文50余篇,其中被EI收录十余篇。理论成果获省级等奖二等一项,
三等奖二项。
获奖情况
1、78年,SDS—1型电子束曝光机研制全国首届科学大会奖集体奖,主持人之一。
2、79年,SDS—1型电子束曝光机
山东省首届科学大会奖集体奖,主持人之一。
3、79年,双光路激光精密定位系统山东省科技进步
二等奖集体奖,主持人之一。
4、82年,多功能电子束曝光图形控制器山东省科技进步二等奖,第1位。
5、92年,IC插座自动组装机山东省计算机应用科优秀科技成果三等奖,第1位。
6、93年,集成电路插座自动生产线山东省科技进步
三等奖,第1位。
7、93年9月,开始享受国务院政府特殊津贴。
8、94年,智能高频新电检测仪
山东省发明二等奖第2位。
9、96年,一种智能电度表专利号:ZL96228246.4第1发明人。