晶体生长技术
晶体生长技术
晶体生长技术是一种制造单晶体的过程,可以通过固态、液态或气态的方式实现。实际中,大多数人工晶体是通过熔体或溶液的过冷或过饱和状态获得的。晶体生长技术涉及一系列特定的方法和技术,使得单晶体能够从液态或气态中结晶并成长。
熔体生长法
熔体生长法是最常见的晶体生长方法之一,主要包括直拉法、坩埚下降法、区熔法和焰熔法等。
直拉法
直拉法是熔体生长单晶的一种重要方法,适合大规模生产大尺寸完美晶体。在加热的坩埚中,熔化的物料通过籽晶杆上的籽晶结晶,并随着籽晶的提升而成长为棒状单晶。坩埚可通过高频感应电阻加热。半导体锗、硅、氧化物单晶如钇铝石榴石、钆镓石榴石、铌酸锂等均采用此方法生长。影响晶体品质的因素包括固液界面的温度梯度、生长速率、晶转速率以及熔体的流体效应等。
坩埚下降法
坩埚下降法中,坩埚置于垂直炉内,分为高低温区,坩埚下降至低温区时开始结晶。坩埚底部通常设计为尖锥形或带细颈,以利于籽晶选择。晶体形状与坩埚形状一致,大型碱卤化合物及氟化物等光学晶体常采用此方法生长。
区熔法
区熔法通过狭窄高温区使多晶材料棒形成窄熔区,通过移动材料棒或加热体使其结晶,最终形成单晶棒。该方法可提高单晶材料纯度并均匀掺杂。区熔技术包括水平法和浮区熔炼法。
焰熔法
焰熔法利用氢氧燃烧产生的高温使材料粉末熔融并结晶。该方法无需坩埚,可用于生长熔点高达2,500℃的晶体,但晶体内部应力较大。主要用于生长刚玉红宝石
溶液生长法
溶液生长法可根据溶剂类型进行分类,包括水溶液、有机溶液、熔盐和水热条件下生长晶体等。
水溶液法
水溶液法中,晶体生长需要水浴育晶装置,确保密封和旋转的掣晶杆,以及精确控温的水浴。适当的降温速度和过饱和度非常重要。蒸发法适用于溶解度温度系数较小的材料,如磷酸二氢钾、β碘酸锂等。
水热法
水热法是在高温高压下,通过碱性或酸性水溶液使材料溶解并结晶。关键设备为高压釜,可在高温高压环境下生长晶体,如水晶刚玉方解石等。
助熔剂法
助熔剂法又称熔盐法,通过在高温下将晶体原料溶解于较低温熔融的盐溶剂中,形成饱和溶液并缓慢降温,从而析出晶体。适用于高熔点氧化物或易蒸发材料,如BaTiO3、Y3Fe5O12等。
气相生长法
气相生长法包括升华法和化学气相输运法。
升华法
升华法是指固体在升温后直接转化为气体,随后在低温区凝结成晶体,不经液体阶段。适用于砷、磷等元素及其化合物,如ZnS、CdS等。
化学气相输运
化学气相输运法是指固体材料通过输运剂的化学反应生成挥发性化合物,将其作为材料源,通过可控的挥发和沉淀过程生长晶体。典型例子包括镍的提纯
外延
外延技术,也称取向附生,是指在单晶片上再生长一层与原晶体结构匹配的单晶薄层。外延可分为同质外延和异质外延。外延生长广泛应用于半导体材料研究和磁泡材料发展。
目录
概述
熔体生长法
直拉法
坩埚下降法
区熔法
焰熔法
溶液生长法
水溶液法
水热法
助熔剂法
气相生长法
升华法
化学气相输运
外延
参考资料